自動型離子濺射儀

英國Agar Scientific：B7341自動型離子濺射儀

易于使用的基本濺射涂布機，用于SEM樣品的金涂層

這是一種易于使用的基本儀器，用于SEM樣品的金涂層。它具有*可變的電流控制，帶暫停選項的數字處理計時器，可變高度的樣品臺，鉸接頂板和O形密封真空室。該控制允許濺射電流獨立于氣體壓力設定，氣體壓力可通過手動泄漏閥單獨調節。覆蓋率和粒度針對任何樣品進行了優化。具有57mm直徑目標的冷磁控管型頭可以在小的加熱下實現高效濺射。涂布時間由帶有數字讀數的定時器設定并存儲在存儲器中。真空狀態和濺射電流顯示在面板儀表上。

模塊化桌面設計將濺射控制單元，泵送系統和厚度監視器組合在一個僅400 x 600mm的區域內。它采用快速釋放全金屬耦合系統*集成。可調節高度的樣品臺多可接受12針型短柱，也可用作其他類型短柱和樣品的平臺。為可選的膜厚監控器提供真空饋通。

Agar手動噴金儀（離子濺射儀）為英國進口設備，操作簡單，適用于掃描電鏡樣品制備，可噴金、鉑、金/鈀、鉑/鈀、銀等。

噴金儀使用小貼士：

1）需要濺射噴金的樣品

a)*類樣品是電子束敏感的樣品，主要包括生物樣品，塑料樣品等。SEM中的電子束具有較高能量，在與樣品的相互作用過程中，它以熱的形式將部分能量傳遞給樣品。如果樣品是對電子束敏感的材料，那這種相互作用會破壞部分甚至整個樣品結構。這種情況下，用一種非電子束敏感材料制備的表面鍍層就可以起到保護層的作用，防止此類損傷；

b)另一類樣品是非導電的樣品，由于樣品不導電，其表面帶有“電子陷阱”，這種表面上的電子積累被稱為“充電”。為了消除荷電效應，可在樣品表面鍍一層金屬導電層，鍍層作為一個導電通道，將充電電子從材料表面轉移走，消除荷電效應。在掃描電鏡成像時，濺射材料可以增加信噪比，從而獲得更好的成像質量。

2)濺射材料

常用的濺射材料為金，導電性高。

噴金儀的真空度越高，所濺射的金屬顆粒越小，可以減少樣品表面形貌失真的情況。當需要超高分辨率成像時，選擇高真空噴金儀，同時還可以選用其他濺射材料，如：鉻，銥等，濺射的晶粒更細小。

自動型離子濺射儀

規格      

室大小       120mmØx120mm高（4.75“x 4.75”）

濺射頭        低壓平面磁控管

                 快速改變目標

                 環繞式暗空間護罩

濺射目標       金標配（Au / Pd或Pt可選）

                   57毫米直徑x 0.1毫米厚

濺射供應       基于微處理器

                    安全聯鎖

                    電流控制獨立于真空

                     可變10 - 40mA

外形尺寸       W 420mm（16.5“），D 295mm（11.6”），H 287mm（11.3“）

重量              10公斤（22.1磅）

功率              大40VA（不包括旋轉泵）