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      紅外光譜橢偏儀IRSE

      簡要描述:紅外光譜橢圓儀(IRSE)可以表征材料的結構(厚度,界面,表面粗糙度,污染),光學(光學常數),電(導電性)以及化學信息。

      • 產品型號:TFProbe IRSE
      • 廠商性質:代理商
      • 更新時間:2023-11-13
      • 訪  問  量:1537

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      詳細介紹

      紅外光譜橢偏儀IRSE

      型號:TFProbe IRSE

      橢圓偏振光譜(SE)是一種成熟的光學技術,用于表征塊狀材料,薄膜,涂層,表面層和嵌入式層。實現這種技術的波長范圍取決于應用。紅外(IR)波長范圍備受關注,因為材料表現出的結果與在紫外線(UV)和可見光波長范圍內觀察到的結果有很大不同。例如,大多數非摻雜半導體都是透明的;電介質特征吸收鍵;金屬或摻雜的半導體表現出Drude吸收尾等。因此,紅外光譜橢圓儀(IRSE)可以表征材料的結構(厚度,界面,表面粗糙度,污染),光學(光學常數),電(導電性)以及化學信息。

       

      應用案例:

      1)零裝材料:玻璃,PET,摻雜硅

      2)硅外延層:

      •摻雜輪廓

      •薄外延層(<1 um

      •低對比度N / N外延層

      3)半導體外延層(GaAsInsbSiCSiGeCdHgTe等)

      4)介電膜表征

      5)應用于FPD的硅層

      6)監測a-SiH工藝質量(CVDELA工藝)

      7SiN層中Si-HNH的相對含量

      8ITO膜:光學和電學表征

      9BPSGPSG:硼和磷的濃度

      10)低k材料:

      •有機低k材料:

      確定厚度和光學常數;

      計算碳含量(%C);

      確定退火前后的水含量;

      SiOCH:碳含量和孔隙率

      •多孔SiO 2:厚度,孔隙率,水含量

      11)溝槽,過孔,凹槽和淺溝槽隔離(STI 

      12SOI光波導:厚度測量

       

      特征:

      • 價格合理,成本低廉,設計緊湊
      • 可與Windows的軟件一起使用,高級用戶的科學模式,日常操作的操作員模式
      • 可變入射角
      • 用戶定義的分辨率
      • 基于FTIR技術的快速測量
      • 全面的光學常數數據庫和模型配方
      • 先進的TFProbe軟件允許用戶定義具有NK表,色散或EMA混合物/復合材料的層以及索引等級以及表面/界面粗糙度...
      • 可通過各種選件和附件進行升級和重新配置
      • 邁克爾遜干涉儀具有連續動態對準功能,可長期保持穩定
      • 使用壽命長的紅外光源?

      ?

      系統配置:

      •光源:使用壽命長的Polaris™紅外光源

      •光譜儀:

      邁克爾遜干涉儀雙端口輸出

      Ge on KBr分光鏡

      高精度HeNe參考激光器

      可變光圈光圈

      BaF2涂層KBr窗口

      •可變入射角:5度間隔20 90

      •角度更改模式:手動,帶預設插槽

      •偏光光學元件:電動柵格紅外偏光片

      •檢測器:帶有KBr窗口的TE冷卻DLaTGS檢測器

      •載物臺:高精度Z載物臺,可傾斜

      •樣品盤:直徑200mm,水平放置

      •通訊:USB 2.0

      •電腦:Intel i5處理器,8GB內存和500GB帶有鍵盤和鼠標的硬盤

      •顯示器:22英寸液晶顯示器

      •軟件:TFProbe 3.3

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