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      光譜橢偏儀顯微分光光度計

      簡要描述:對于某些應用(例如MEMS或半導體產品晶圓上的功能),希望有一個小的探測點。將顯微分光光度計與橢圓偏振光度計集成在一起后,工具的功能將大大擴展。可通過橢圓偏振光度法在超薄膜上工作,并且還具有通過微反射法與橢圓度計和微分光光度計相結合的*配置的小面積微反射法。

      • 產品型號:SE-MSP
      • 廠商性質:代理商
      • 更新時間:2023-11-13
      • 訪  問  量:932

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      詳細介紹

      光譜橢偏儀顯微分光光度計

      型號:SE-MSP

      可通過橢圓偏振光度法在超薄膜上工作,并且還具有通過微反射法與橢圓度計和微分光光度計相結合的*配置的小面積微反射法。TFProbe 3.3版本軟件將處理測量和分析。

       

      對于某些應用(例如MEMS或半導體產品晶圓上的功能),希望有一個小的探測點。將顯微分光光度計與橢圓偏振光度計集成在一起后,工具的功能將大大擴展。SE-MSP型是為此目的而設計的。MSP在反射法模式下工作,并以法向入射角進行測量,這是對非法向入射角SE設置的補充。SEMSP的波長范圍可以根據應用需求進行不同配置。所有選項都是可選的。

       

      應用范圍:

      •半導體制造(PR,氧化物,氮化物..

      •液晶顯示器(ITOPR,液晶盒間隙…..

      •法醫,生物膜和材料

      •油墨,礦物學,顏料,碳粉

      •藥品,醫療器械

      •光學涂料,TiO2SiO2Ta2O5..

      •半導體化合物

      MEMS / MOEMS中的功能膜

      •非晶,納米和晶體硅

       

      特征:

      •易于使用,基于Window的軟件進行操作

      •先進的光學設計可實現*系統性能

      •使用SExxxBA選項以0.001度的分辨率自動更改入射角

      •高功率光源,適用于寬帶應用

      •基于陣列的探測器系統可確保快速測量

      •測量多層膜的厚度和折射率,允許用戶設計無限層的模型

      •系統附帶全面的光學常數數據庫

      ••TFProbe 3.3軟件允許用戶為每膜使用NK表,色散或有效介質近似值(EMA

      •三種不同的用戶級別控制:工程師模式,系統服務模式和簡易用戶模式

      •靈活的工程師模式,適用于各種配方設置和光學模型測試

      •強大的一鍵式按鈕解決方案,可進行快速和常規的測量

      •可配置的測量參數,操作簡便

      •全自動系統校準和初始化

      •直接從樣品信號獲得精確的樣品比對接口,無需外部光學器件

      •精確的高度和傾斜度調整

      •適用于許多不同類型,厚度不同的基材

      •各種選件,附件可用于特殊配置,例如測繪臺,波長擴展,焦點等

      2D3D輸出圖形和用戶友好的數據管理界面

      ••用于微米區域選擇的數字成像工具

      •集成反射計,用于小范圍內的反射測量

       

      系統配置:

      探測器:探測器陣列

      波長范圍可配置為1901700nm

      光源:基于SEMSP的波長范圍

      入射角更改:自動,帶有程序設置

      階段:手動或自動映射階段

      軟件:TFProbe 3.3

      SEMSP結合

      電腦:Intel i3處理器

      顯示器:22英寸寬屏液晶

      電源:通用110 240 VAC / 50-60Hz6 A

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