<form id="099il"></form>

<em id="099il"></em>

  • <table id="099il"></table>

    <nav id="099il"></nav>

    <form id="099il"><progress id="099il"></progress></form>
      咨詢熱線

      18971121198

      當前位置:首頁   >  產品中心  >    >  橢偏儀  >  SE200BM,SE300BM和SE500BM光譜橢偏儀帶自動監測

      光譜橢偏儀帶自動監測

      簡要描述:橢圓偏振光譜(SE)是一種成熟的光學技術,用于以非破壞性和非接觸方式表征塊狀材料,薄膜,涂層,表面層和嵌入層。對于常規和晶圓廠加工質量控制,必須有一個自動盒式裝卸機。為此,我們開發了一種低成本解決方案,可將晶圓尺寸從2“擴展到8"(臺式),將塔式尺寸擴展到12“。用戶甚至可以為每個插槽定義配方,從而為整個盒式磁帶測量定義配方。

      • 產品型號:SE200BM,SE300BM和SE500BM
      • 廠商性質:代理商
      • 更新時間:2023-11-13
      • 訪  問  量:676

      相關文章

      Related Articles

      詳細介紹

      光譜橢偏儀帶自動監測

      橢圓偏振光譜(SE)是一種成熟的光學技術,用于以非破壞性和非接觸方式表征塊狀材料,薄膜,涂層,表面層和嵌入層。對于常規和晶圓廠加工質量控制,必須有一個自動盒式裝卸機。為此,我們開發了一種低成本解決方案,可將晶圓尺寸從2“擴展到8”(臺式),將塔式尺寸擴展到12“。用戶甚至可以為每個插槽定義配方,從而為整個盒式磁帶測量定義配方。

       

      應用范圍:

      半導體制造(PR,氧化物,氮化物..

      液晶顯示器(ITOPR,液晶盒間隙…..

      光學涂料,TiO2SiO2Ta2O5..

      半導體化合物

      MEMS / MOEMS中的功能膜

      非晶,納米和晶體硅

      光伏薄膜,CdTeCdSCIGSAZOCZTS .....

       

      特征:

      水平樣品放置

      價格合理,成本低廉,設計緊湊

      易于與基于Windows的軟件一起使用;高級用戶的科學模式,日常操作員模式

      可變入射角,用戶可定義分辨率

      全面的光學常數數據庫和模型配方

      先進的TFProbe軟件允許用戶定義具有NK表,色散或EMA混合物/復合材料的層以及索引等級以及表面/界面粗糙度...

      可通過各種選件和附件進行升級和重新配置

      晶圓厚度:200µm1mm(弓形<1.5mm,無翹曲)

      前載紙盒

      帶有傳感器的高速電梯

      包括盒式磁帶映射器(檢測空插槽和交叉開槽的晶圓)

      包含臺載傳感器

      包含用于平板或槽口的預對準器

      EMO緊急關機開關

      中心觸點末端執行器與橢圓偏振儀工具上的晶片支架匹配

      兼容潔凈室

      易于使用的可調節水平腳,并牢固橋接至橢圓儀框架

      緊湊的設計,所有電子設備內置在裝載機中

      通用電源輸入

      通過USB與計算機通信,與Ellipsometer共享一臺計算機和顯示器

      升級的TFProbe SW具有集成的晶圓處理功能,易于操作

      特殊設計的帶有真空吸盤的新型晶圓支架,可將晶圓固定在適當位置

       

      系統配置:

      根據不同的應用,光譜橢偏儀可以配置SE200BMSE300BMSE500BM或其他型號。

       

      總重量:300

      尺寸:60英寸(長)x 35英寸(長)x 35英寸(高)

      電源:通用輸入100-240 VAC6A50-60 H

      真空源:小70 kPa21 Hg),帶有1/4英寸的供氣管

      產品咨詢

      留言框

      • 產品:

      • 您的單位:

      • 您的姓名:

      • 聯系電話:

      • 常用郵箱:

      • 省份:

      • 詳細地址:

      • 補充說明:

      • 驗證碼:

        請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字),如:三加四=7
      邁可諾技術有限公司
      • 聯系人:葉盛
      • 地址:洪山區珞獅南路147號未來城A棟
      • 郵箱:sales@mycroinc.com
      • 傳真:
      關注我們

      歡迎您關注我們的微信公眾號了解更多信息

      掃一掃
      關注我們
      版權所有©2024邁可諾技術有限公司All Rights Reserved    備案號:    sitemap.xml    總訪問量:467473
      管理登陸    技術支持:化工儀器網    
      日韩dvd在线